一、产品技术主要特点
★基于电离电荷的采样技术
CM系列真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我公司专家在磁控放电的研究中发现：在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时，真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系，而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。因此，我公司首创了基于电离电荷的采样技术，显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。
★ 漏电电流的处理
对处于分断状态的真空灭弧室两端加高压时，会有数值不等的几个微安的漏电电流，此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室，由于其周边的绝缘支撑件也有漏电，这些漏电的总和有更大的不稳定性和不可预测性，并且在数值上与10E-4Pa数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用两次起动高压的方法，扣除了漏电电流，保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。
★ 判别完全漏气的真空灭弧室
在此型机中，通过高压击穿的方式判别真空灭弧室是否完全漏气。
★ PC机控制测量、计算漏率、形成测量数据库
这部分是选配件。通过界面进行管型、电流或真空度、所用数据库的整定，由PC机控制整个测量过程、显示测量结果并将数据存入整定时指定的数据库。同一只真空灭弧室在两次测量后，可通过界面控制进行漏率计算。
★ 内置国内外几乎所有真空灭弧室的测量曲线
真空灭弧室由于其几何尺寸、材料的不同，当内部真空度和外加激励电源一定时，其放电电荷量是不同的，并且有相当的差异。为准确测量，对每一种真空灭弧室必须有对应的从电离电荷量到真空度推算曲线。我公司的专家通过与国内主要真空灭弧室生产厂家的密切合作，取得了几乎国内外所有真空灭弧室的电离电荷和真空度关系的数据，通过数学处理，将其特征参数送入CM系列产品。因此，CM系列产品内置国内外几乎所有真空灭弧室的测量曲线。这是国内外同类产品中绝无仅有的。
★完善的输入保护电路
当真空灭弧室的真空度非常低时，测量时真空灭弧室会被高压击穿，瞬间的高压直接加至信号输入端的采样电路上，使其承受十分强的电冲击。信号输入端的采样电路增加了完备的保护电路，即使仪器由于输入端的高压冲击而发生暂时工作不正常时（重新开机即可），也不会造成电路部分的损坏。
技术参数
●测量范围：1×10-5 ～1×10-1Pa
●测量误差：1×10-4～1×10-1 Pa中误差＜10％
●测量分辨率：10-5Pa
●漏气的灭弧室在测量中将发生电击穿。
●允许环温：0℃～55℃
●空气湿度：〈85%RH
●电源：AC220±l0%
●外型尺寸：455x330x250mm
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